ITOグラスマグネトロンスパッタリングコーティングライン
主な技術的パラメータ
- 1.真空チャンバーはステンレス製の垂直構造で、外側の壁は冷却水に接続し、内側の壁はステンレススチール製のブロックで接続されています。
- 2. 真空方式：拡散ポンプ方式とターボ分子ポンプ方式の両方が利用可能です。
- 3. 蒸発源: DC マグネトロン スパッタリング ターゲット、アンバランス マグネトロン スパッタリング ターゲットは、真空チャンバーの両側にそれぞれ固定されています。
- 4. ワークピース乾燥システム: スパッタリング ラインは、ガラスの加熱均一性を確保するために、ステンレス管状ヒーターとベーパー チャンバーを採用しています。
- 5.空気膨張システム：マスフローガスメーターと自動圧力コントローラー。
- 6.電気制御システム：人間と機械の会話システムによるデータ表示、操作、制御を実現するタッチスクリーンとPLC自動制御。
- 7.水冷システム：水圧保護スイッチと水流スイッチを備えた真空冷却およびカソード冷却システム。
連続ITOガラススパッタリングラインの真空チャンバーの材質はSUS304で、内壁は研磨されています。そして、外壁は研磨後にビーズを吹き付けています。
- 真空チャンバーの伝達は電磁ソレノイドで行い、伝達の安定性を確保しています。生産ライン全体の各セクションの速度は、可変周波数モーターによって駆動され、速度は調整可能です。
- 連続ITOガラススパッタリングラインの制御システム：タッチスクリーンとPLC自動制御
- 用途：携帯電話、電子機器、家電、ディスプレイのガラスパネル
- TITO ガラスインラインスパッタリングシステムは、基板上にさまざまなコーティングを施すことができます。お客様の要件に応じて設計と機械の完全なセットを提供し、レシピとTURNKEYプロジェクトサービスの技術サポートも提供できます。
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