インラインスパッタリング装置
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インラインマグネトロンスパッタリング装置
インラインマグネトロンスパッタリングシステムは、さまざまな目的で機能する一種の真空薄膜蒸着装置です。以下を含む当社のスパッタリングラインの最も一般的な用途:
アルミミラー製造
- ITOガラスコーティング
- 反射防止ガラス
- ステンレス鋼およびガラスの装飾コーティング
このコーティングシステムは、高級真空コーティング用途に適しています。安定した作業性を発揮し、真空コーティング膜の品質を向上させます。
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ITOグラスマグネトロンスパッタリングコーティングライン
ITO ガラス マグネトロン スパッタリング コーティング ラインは、真空マグネトロン スパッタリング技術とアンバランス マグネトロン スパッタリング技術を採用して、高品質のフロート ガラスに SO2/ITO 層をコーティングします。国際的な高度な制御システムに基づいています。製造プロセス全体が自動的かつ継続的に機能します。
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アルミミラーインラインマグネトロンスパッタリングライン
アルミニウム ミラー インライン マグネトロン スパッタリング ラインは、ガラス ミラー製造の高出力向けに設計されています。より大きなガラスをコーティングし、壊れやすいガラスパネルに注意するために、特に大きなサイズのシートの場合、通常は横型のスパッタリングラインを作成します。連続マグネトロンコーティングラインで、前後粗排気室、移行室後、微排気室前後、バッファ室、カラーメッキ室があります。
ターゲット設計: 円筒形マグネトロン スパッタリング カソードまたは平面カソード。
電源：高出力DCまたはMFマグネトロンスパッタリングによる電源
駆動方式：ローラー駆動、周波数調整可能、誘導式ルームドア開閉方式。
真空系：拡散ポンプ（またはターボ分子ポンプ）＋ルーツポンプ＋メカニカルポンプ
