アルミミラーインラインマグネトロンスパッタリングライン
主な特徴
- アルミニウム ミラー インライン マグネトロン スパッタリング ラインには、通常、ガラス シートの真空コーティングを完了するための複数の真空チャンバーが付属しています。
- 主な特徴：
- 1.Max.ガラスコーティングサイズ：2440x3660mmまたはカスタマイズ
- 2. マルチ真空チャンバーとマルチスパッタリングチャンバーの設計が可能
- 3.水平磁気制御線は、シングルエンドとダブルエンドの構造を持っています。ガラスのダブル洗浄、コーティング、検出、塗装、乾燥、冷却が一度に終了
- 4. スパッタリング コーティング ラインは、プロセス全体の制御に PLC を使用し、コーティング プロセス データを表示するカラー スクリーンが装備されています。
コーティングの層: チタン、クロム、ステンレス鋼、アルミニウム、銀、銅など
- 化合物：TiN、TiO2など
- 層の厚さ: 5-100nm
- 透過率: 380 ～ 780 nm の波長で 8 ～ 40%
- 析出温度：室温
- 8時間のポンプダウン後の到達圧力:
- エントリーロックチャンバー＆バキュームロックチャンバー：5×10-1Pa以下
- 緩衝室1：3×10-3 Pa以下
- スパッタリングチャンバー：2×10-3 Pa以下
- 緩衝室2 : 3×10-3 Pa以下
- 出口ロック室＆バキュームロック室：5×10-1Pa以下
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