長時間稼働後の真空成膜装置のメンテナンスポイント

真空成膜装置を6ヶ月以上連続して使用すると、真空成膜装置の排気速度が著しく遅くなりますが、どのようにメンテナンスすればよいでしょうか?この記事では、長期間稼働した真空コーティング装置のメンテナンス ポイントについて簡単に説明します。

まず、大気中にフラッシュし、カップリング水パイプを取り外し、最初のレベルのノズルをねじ込み、ポンプキャビティとポンプ胆嚢をガソリンで洗浄してから洗浄する必要があります

洗濯洗剤で水をまき、水が蒸発して乾くのを待ち、ポンプ胆嚢を取り付け、ポンプオイルの新しい拡散を再度追加し、本体に戻してから、機械を再起動できます。

真空めっきを再開するときは、漏れを拾うために特別な注意を払う必要があります。まず、拡散ポンプ部分の真空が 6*10PA に達しているかどうかを観察し、そうでない場合は漏れ検出を実行する必要があります。

カップリングにシールゴムリングまたはクラッシュシールが取り付けられているかどうかを確認してください。

加熱する前に空気漏れの隠れた危険を排除します。そうしないと、拡散ポンプのオイルがリングを燃やし、動作状態に入ることができなくなります。

真空コーティング装置が 1 か月間の連続作業をポンピングする場合、新しいオイルを交換する必要があります。古いオイルのポンプ オイルは完全に排出されます。

次に、新しいポンプ オイルを一定量追加します。半年以上連続して使用した場合、再度真空ポンプオイルを交換する際は、オイルカバーを開けてタンク内の汚れを布でふき取ってください。

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