真空コーティング装置のメンテナンスのヒント

真空コーティング装置のメンテナンス方法は？真空成膜装置のメンテナンスとスキルとは？現在、多くのメーカーは真空コーティング装置のメンテナンスについてあまり明確ではなく、メンテナンス メンテナンスが必要ですが、結果は得られません。

はじめに、多くの真空コーティング装置メーカーが非常に頭の痛い問題を抱えています。今日は、真空コーティング装置の修理とメンテナンスの方法と、メンテナンス プロセスの 3 つの主なヒントを紹介します。

1、上記で完了した200回のコーティング手順ごとに、真空コーティング装置は、スタジオを一度清掃する必要があります。方法は次のとおりです。苛性ソーダ（NaOH）飽和溶液を使用して、真空チャンバーの内壁を繰り返しこすり洗いします（火傷しないように、人間の皮膚は苛性ソーダ溶液に直接接触できないことに注意してください）。目的はメッキを作ることですフィルム素材のアルミニウム（AL）とNaOHが反応し、フィルム層が反応して剥がれ、水素ガスが放出されます。次にバキュームチャンバーを水洗いし、ファインポンピングバルブ内の汚れをガソリンを含ませた布で拭き取ります。

2、ラフポンプ（スライドバルブポンプ、ロータリーベーンポンプ）は、1ヶ月間（梅雨の半分程度）の連続運転で新油への交換が必要です。方法は次のとおりです。オイルリリースボルトを緩め、古いオイルを解放し、ポンプを数秒間始動して、ポンプ内の古いオイルを完全に排出します。オイル ドレン ボルトをねじ込み、新しいオイルを定格量 (オイル サイト グラスで確認) まで追加します。半年以上継続して使用し、オイル交換時はオイルカバーを開けて箱内の汚れを布で拭き取ってください。

3、拡散ポンプの連続使用の6か月以上、ポンプ速度が大幅に遅くなった、または不適切な操作、大気への充填、カップリング水パイプの取り外し、電気炉プレートの取り外し、最初のノズルのねじ込み、最初にガソリンで空洞をポンプで汲み上げ、胆嚢を一度洗浄し、粉末洗剤で水を洗い流してから、水で完全に洗浄し、水が蒸発して乾いたら、ポンプ胆嚢を取り付け、新しい拡散ポンプオイルを追加し、本体に戻して接続します水道管、電気炉を取り付けてプレート、機械を再起動できます。

機械を再起動する前に、漏れ検出作業に注意してください。方法は、ポンプのメンテナンスを開始し、ドアを閉め、数分後、拡散ポンプ部分の真空度が 6X10 Pa に達しているかどうかを観察し、そうでない場合は、リーク検出を実行する必要があります。カップリングにシールゴムリングまたはクラッシュシールが取り付けられているかどうかを確認してください。加熱前に空気漏れの隠れた危険を排除してください。そうしないと、拡散ポンプのオイルがリングを燃やし、動作状態に入ることができません。