-1/2 ドア
フレームとチャンバーはカーボンステンレス鋼でできています。
各ドアには、プロセスを視覚的に制御するための検査ウィンドウがあります。ドアの壁は、メンテナンスのために簡単に取り外すことができるステンレス鋼のライナーを提供します。
-カスタマイズされた真空チャンバー
チャンバーは、内部のステンレス製ライナーを簡単に取り外してクリーニングできます。
ポンプは後部に立っています。
チャンバーには測定用の一連の小さなフランジがあります。
-高真空排気システム
拡散ポンプ+ブースターポンプ+メカニカルポンプ
-真空の測定と制御
金属ピラニゲージ+金属イオン化計付
-備品移動システム
-PLCコントロールユニット
-ハイパワートランスによるアルミ蒸着システム
・アイアンフレーム
構造は合理的です
フィルム層は均一です
成膜品質
高い排気速度、短い作業サイクル、高い生産効率
操作が便利
低エネルギー消費と安定した性能
モデル番号 | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | 2 つのドアまたは 2 つの部屋モデルが利用可能です | |
真空チャンバーの寸法(直径*高さ) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
真空チャンバーの材質 | 炭素鋼、SUS304またはSUS316L | ||||||
働く技術 | タングステン&アルミフィラメントによる真空抵抗蒸着、ハイパワー蒸着トランス | ||||||
ポンピングシステム | 拡散ポンプ+メカニカルポンプ、ブースターポンプ | ||||||
ポンピング時間 | 大気圧から5.0×10-2Paまで8分以内 | ||||||
真空限界 | 5.0×10-4Pa | ||||||
作業温度 | 室温 | ||||||
作業モード | 自動または手動モード、10.4 インチ PLC タッチスクリーン | ||||||
総電力 | 40~80kW | 70~140kW | |||||
フットプリント | 2*2 メートル | 2*3 メートル | 3*3 メートル | 3*3 メートル | 3*4 メートル | 4*5 メートル | 5*6 メートル |
カスタムメイドできるこれらのユニット | 1. 真空チャンバーのサイズ 2. ポンプの構成 | ||||||
オプションの楽器 | 1. 漏れ検知器 3. アークイオンデポジション装置 4. マグトロンスパッタリング装置 |