ARC-500 の主な特徴は、高速なサイクル時間、簡単な操作、および使いやすさと手頃な価格です。4 つの高性能陰極アーク蒸着陰極を備えています。これは、コーティングの世界への参入を検討しているお客様や、高速で少量の PVD システムを自社のマシンに追加したいと考えているお客様にとって理想的な選択肢です。
適用される技術:
陰極アーク蒸着陰極
利点:
高いターゲット使用率
高い堆積率
迅速なカソード交換
• 全体構造: 垂直フロント ドア、水平フロント ドア、背面真空排気システム
• 材質: キャビティは高品質の SUS304 ステンレス鋼で作られています。
• イオンアーク源:装置の大きさに合わせて複数セットのアーク電源を装備
・バイアス電源:ハイパワー1段パルスバイアス電源を搭載
• マルチアーク ターゲット: チタンまたはステンレス スチール ターゲットの複数セットを標準装備
• 回転システム: 可変周波数速度調整、回転と回転の組み合わせ、上部トランスミッションまたは下部トランスミッション。
• 真空システム (加飾塗装装置): 拡散ポンプ (オプションの分子ポンプ) + ルーツ ポンプ + メカニカル ポンプ
• ガス制御: 多方向ガス質量流量制御システム
• 加熱システム: 装飾コーティング 150 ℃ 温度制御 PID 調整および制御可能
• インテリジェント制御: PLC インテリジェント制御 + HMI フルカラー タッチ インターフェースにより、完全自動ロジック制御を実現
• アラームと保護: 異常な状態でアラームを発し、対応する保護手段を実装します。
最大。負荷: 100kg
4 - 6 バッチ/日
モジュラー カルーセル システム:
2 回転キッカー カルーセルまたは 3 回転ギアボックス システム
ソフトウェア:
シンプルな使用とメンテナンス
タッチスクリーンによる制御システム
プロセスパラメータとフローのデータ記録とリアルタイム表示
手動および自動プロセス制御
機械寸法:
フットプリント [mm]: L2300 x W1600 x H1950